真空熱處理工藝的發(fā)展與設備的發(fā)展密不可分。 提高設備的技術水平以滿足工藝要求通常與支持零件技術的發(fā)展密切相關。 橡膠葉輪的開發(fā)主要是為了通過活塞式氣泵獲得真空，但只能達到0.25托的真空。 隨后的管制造技術要求更高的真空度，這促進了真空技術的發(fā)展，因此出現了各種橡膠葉輪：旋轉水銀橡膠葉輪，油封旋轉橡膠葉輪，分子橡膠葉輪和擴散橡膠葉輪。 其中，擴散橡膠葉輪的發(fā)明使真空技術進入了高真空階段（約10-8根毛發(fā)）。 隨著現代科學技術的發(fā)展，例如加速器，熱核反應堆，大型真空護罩等，要求能夠在大空間中建立必要的真空。 因此，到1960年代初，擴散器橡膠葉輪的排氣速度已達到數萬升/秒。 然而，就真空熱處理所需的真空度而言。 僅在特殊情況下， 因此，真空熱處理爐中常用的橡膠葉輪由機械橡膠葉輪和油蒸發(fā)擴散橡膠葉輪組成。